使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項　　使用氣相沉積爐時需要特別注意以下幾點(diǎn)。大家一起看看吧?！　?、模具一般由用戶自備，模具材料基本采用高純石墨，其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用，加壓前計算模具上、下沖頭面積，換算成壓力。具體公式如下：系統(tǒng)允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa　　2、熱電偶為鎢錸型，使用后變脆，不能接觸。破損時請立即更換。其型號為W2型?！　?、冬季要注意氣相沉積爐循環(huán)水的保溫問題。否則容易發(fā)生自來水管破裂?！　?、使用后爐體應(yīng)保持真空，爐內(nèi)保溫層容易受潮，保持真空下次抽真空會更快?！　?、設(shè)備復(fù)雜，建議專人使用，專人負(fù)責(zé)，嚴(yán)格對初學(xué)者進(jìn)行使用前培訓(xùn)，有使用后檢查、操作使用記錄等設(shè)備使用規(guī)定。　　6、氣相沉積爐也可作為真空燒結(jié)爐使用。用于真空燒結(jié)爐時，請注意在爐內(nèi)放置坩堝后，合上保溫板蓋后，不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐?！　?、操作前觀察窗玻璃清潔，清掃爐內(nèi)壁，觀察水壓情況，觀察爐內(nèi)石墨有無損傷，開機(jī)后觀察儀表顯示是否正常，測試液壓系統(tǒng)是否正常工作。　　8、氣相沉積爐使用一年后，應(yīng)將儀器送計量部門校準(zhǔn)。

　　真空速凝爐的常見故障　　真空速凝爐由于長時間使用和操作不當(dāng)?shù)仍颍赡軙霈F(xiàn)以下常見故障：　　1.真空系統(tǒng)漏氣：真空泵、閥門等部件沒有安裝好或密封不嚴(yán)密，導(dǎo)致室內(nèi)氣體無法完全抽出。　　2.加熱元件失效：電加熱器、感應(yīng)線圈等加熱元件長期高溫使用后容易老化或損壞，導(dǎo)致無法正常加熱?！　?.高壓慣性氣體噴嘴堵塞：在制備過程中，高壓慣性氣體噴嘴可能被金屬材料或其他雜質(zhì)堵塞，影響氣流的正常流動和冷卻效果?！　?.熔融室爆裂：熔融室承受高溫和高壓的刺激，容易出現(xiàn)裂紋或爆裂現(xiàn)象。　　5.控制系統(tǒng)出現(xiàn)問題：計算機(jī)或PLC控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障，可能導(dǎo)致加熱、冷卻、真空度等參數(shù)控制不準(zhǔn)確?！　?.其他故障：還包括電源故障、傳感器異常、設(shè)備損壞等。　　總之，在操作真空速凝爐時，需要嚴(yán)格遵守設(shè)備使用說明和安全規(guī)范，及時進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，避免故障的發(fā)生。一旦出現(xiàn)故障，應(yīng)該根據(jù)具體情況進(jìn)行檢查、維修或更換相關(guān)部件。