真空燒結(jié)爐腔體加工要點(diǎn)
真空燒結(jié)爐腔體加工要點(diǎn)
真空燒結(jié)爐中為了減小腔體內(nèi)壁的外表積,一般用噴砂或電解拋光的辦法來取得平整的外表。真空爐中超高真空體系的腔體,更多的是利用電解拋光來進(jìn)行外表處理。
超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空燒結(jié)爐中真空腔體不允許表里兩層焊接和兩層密封。
真空燒結(jié)爐的真空腔體的內(nèi)壁外表吸附很多的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)超高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤辦法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟(jì)簡略的烘烤辦法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,避免熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
不銹鋼是現(xiàn)在超高真空體系的主要結(jié)構(gòu)材料。其間300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有***的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270~900℃工作等長處,在高真空和超高真空體系中,使用廣泛。
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