氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些
氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些
氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測溫?zé)犭娕?,是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢介紹。
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控,壓力波動小;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能很快收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高。
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