氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優(yōu)勢介紹?！　‰娮锠t可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調控，壓力波動小；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時間短，生產(chǎn)效率高。

　　真空甩帶爐常用的真空計有哪些 　　真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。真空甩帶爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下： 　?。ㄒ唬崤颊婵沼?　　熱偶真空計由敏感元件、熱偶規(guī)管和測量儀器組成。真空甩帶爐廠家表示，熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應，在回路中有熱電勢產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少?；芈分械臒犭妱萦煤练頊y量，表中的毫伏數(shù)即反映出真空度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。 　?。ǘ╇婋x真空計 　　這種真空計主要用于測量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比按照離產(chǎn)生的方法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極電正電位。當電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當發(fā)射電流一定時，正離子數(shù)日與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空甩帶爐的真空度。 　?。ㄈ秃险婵沼?　　真空熔煉爐廠家表示，通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，應用較多的是電離與熱偶式復合真空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上，通過旋鈕可分別給兩個規(guī)管加熱，并選擇使用。